高周波マグネトロンスパッタリング法による固体酸化物形燃料電池の作成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 7-022

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

タイトル(英語): Preparation of Solid Oxide Fuel Cell using RF Magnetron Sputtering

著者名: 見市 知昭(大阪工業大学),西本 彰文(大阪工業大学),長田 昭義(大阪工業大学)

著者名(英語): Tomoaki Miichi(Osaka Institute of Technology),Akifumi Nishimoto(Osaka Institute of Technology),Akiyoshi Nagata(Osaka Institute of Technology)

キーワード: 固体酸化物形燃料電池|イットリア安定化ジルコニア薄膜|サーメット基板|プラズマプロセス|マグネトロンスパッタリング

要約(日本語): 本研究では高周波マグネトロンスパッタリング法を用いて,厚みが10μm以下の緻密で均質な固体電解質を含む燃料電池セルの作成を行っている.これまで,支持体であるNi-YSZサーメット燃料極上にYSZ電解質(YSZ:イットリア安定化ジルコニア)薄膜の成膜を行い,その電解質膜および燃料電池セルの評価を行ってきた.本研究では,種々の実験パラメータの中で電解質成膜後のアニール(焼成)処理温度に着目して燃料電池セルの作成を行った.その結果,アニール処理を施すことで電解質薄膜の結晶構造が改質されることがわかった.また,アニール処理温度とともに発電時の燃料電池の開回路電圧が増加し,理論起電力に近づくことが明らかとなった.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 742 Kバイト