窒素ラジカル制御による有機膜ナノ加工

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-S8-2

グループ名: 【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集

発行日: 2004/03/17

著者名: 堀勝 (名古屋大学),後藤俊夫 (名古屋大学),平松美根男 (名城大学)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,174 Kバイト