CF4/N2混合ガスRFプラズマのシミュレーション

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-055

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル：CF₄/N₂混合ガスRFプラズマのシミュレーション

タイトル(英語): Simulation of CF₄/N₂ RF Plasmas

著者名: 石原 裕一(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学),斎藤隆典 (北海道大学),酒井 洋輔(北海道大学)

著者名(英語): Yuichi Ishihara(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University),Ryusuke Saito(Hokkaido University),Yosuke Sakai(Hokkaido University)

キーワード: RFプラズマ|CF4|流体モデル|シミュレーション|温室効果ガス|分解処理

要約(日本語): 集積回路製造工程でエッチングや絶縁薄膜堆積等に用いられるフッ化炭素はプロセス後CF₄として排出されるが、CF₄は温室効果ガスであることから有効な処理法が求められている。本研究は非平衡プラズマによる効率的CF₄分解を目指し、衝撃電界重畳法による低濃度CF₄大量処理の可能性の検討を目的としている。本方法はプラズマに衝撃電界を加えCF₄分解が起こりやすいエネルギー域を狙ってバルク中の低エネルギー電子を加速し選択性向上を図るものである。その基礎として、本報告では、これまで構築してきた流体モデルに新たな反応を組み込んで化学反応系を充実させ、長時間の緩和過程を経た後のプラズマ特性を求めた結果について述べる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,250 Kバイト