0.5% C5F8-Ar 混合気体中の電子輸送係数の測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-056

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル：0.5% C₅F₈-Ar 混合気体中の電子輸送係数の測定

タイトル(英語): A Measurement of Electron Swarm Parameters in 0.5% C₅F₈-Ar Mixture

著者名: 播摩雄久 (慶應大学),平間 伸雄(慶應大学),井上 真史(慶應大学),中村 義春(慶應大学)

著者名(英語): Takahisa Harima(Keio University),Nobuo Hirama(Keio University),Masafumi Inoue(Keio University),Yoshiharu Nakamura(Keio University)

キーワード: 電子輸送係数|C5F8-Ar混合気体|ドリフト速度|縦方向拡散係数

要約(日本語): 半導体ドライエッチング用代替気体として期待されているC₅F₈分子の電子衝突断面積セットを決定するための研究の一環として、前回の純粋C₅F₈中の電子輸送係数の測定に続いて0.5%C₅F₈-Ar混合気体中における電子輸送係数の測定結果について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 673 Kバイト