高周波励起Arマイクロプラズマの基礎特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-063

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Fundamental Characteristics of Ar Microplasma Excited by Radio Frequency

著者名: 内田 諭(東京都立大学),杤久保文嘉 (東京都立大学)

著者名(英語): Satoshi Uchida(Tokyo Metropolitan University),Fumiyoshi Tochikubo(Tokyo Metropolitan University)

キーワード: マイクロプラズマ|高周波励起|アルゴン|シミュレーション|流体モデル|擬似熱平衡

要約(日本語): マイクロプラズマは，従来の放電現象とは異なり，高密度かつ極微小なプラズマ構造を有するため，様々な応用展開が期待されている。ゆえに，各種放電条件における形成過程を十分に精査する必要がある。本研究では，擬似熱平衡?1D流体モデルを用いて，高周波励起におけるArマイクロプラズマ形成のシミュレーションを行った。定常時におけるギャップ電圧は壁電荷に起因する重畳電圧の影響で，印加電圧に対し遅れが生じる。また，電流密度に関しては伝導電流が支配的である。電子密度は電極間を周期的に振動している。一方，一価のArイオン密度はシース領域で最も高い。これは高エネルギー電子による急激な電離のためである。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 621 Kバイト