時間分解干渉計を用いたZピンチプラズマの挙動観測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-172

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Observation of Z-pinch Plasma Dynamics Using Time-resolved Interferogram

著者名: 勝木 淳(熊本大学),佐久川 貴志(熊本大学),浪平 隆男(熊本大学),秋山 秀典(熊本大学)

著者名(英語): Sunao Katsuki(Kumamoto University),Takashi Sakugawa(Kumamoto University),Takao Namihira(Kumamoto University),Hidenori Akiyama(Kumamoto University)

キーワード: Zピンチ|極端紫外線|高エネルギー密度プラズマ|時間分解干渉法|シュリーレン法|磁気パルス圧縮電源

要約(日本語): Zピンチ放電方式の半導体露光用EUV光源（波長13.5 nm、2％帯域幅）の開発研究が、2009年からの実用化を見据えて、日欧米において猛烈に進められている。目標光出力115 Wの達成と同時に長寿命化など総合的な高品質化のためには、電気入力に対する光出力への変換効率の改善が重要であり、このためにはプラズマの理解と制御が不可欠である。当研究室はZピンチプラズマのパラメータ計測とプラズマ制御法の開発に取組んでいる。本稿では、時間分解干渉計等を用いたプラズマ挙動の観測について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 866 Kバイト