同一電力入力時の各種ガス混合パルス変調Ar誘導熱プラズマにおけるAr励起温度の動的特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-183

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Dynamic Behavior of Ar Excitation Temperature in Ar Pulse Modulated Induction Thermal Plasma with Molecular Gases at a Fixed Average Power

著者名: 谷口賢次 (金沢大学),田中康規 (金沢大学),上杉喜彦 (金沢大学)

キーワード: 誘導熱プラズマ|パルス変調|Ar励起温度|過渡応答特性

要約(日本語): 筆者らは高周波誘導熱プラズマを維持するのコイル電流をミリ秒オーダーでAM変調させてパルス変調誘導熱プラズマと呼ぶプラズマを開発してきた。このプラズマは，従来の高周波誘導熱プラズマには無い特徴として，低い平均温度を保ちつつ高活性な状態を維持できる可能性が期待されている。本報告では平均電力を同一値で運用した場合に，パルス変調させた場合とさせない場合でのプラズマの温度を探る為にAr励起温度の時間変化の測定を行った。さらに実際に各種プラズマプロセスに使用されるガスをプラズマ中に混入した場合のプラズマの変化を励起温度の測定を行うことで調べた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,122 Kバイト