多モードアンテナ型高周波誘導結合プラズマの円周方向磁界分布と半導体ガス分解

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-185

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Magnetic field peripheral distribution in semiconductor treatment gas with the high frequency multi-mode plasma

著者名: 木村 健二(中央大学),岩尾 徹(武蔵工業大学),進藤 春雄(東海大学),稲葉 次紀(中央大学)

著者名(英語): Kenji,Kimura|Toru,Iwao|Haruo,Shindo|Tsuginori,Inaba

キーワード: ループアンテナ|高周波誘導結合プラズマ

要約(日本語): アンテナモードを変更した時に分解効率が異なるという報告があるが，効率面を裏付ける解析においては不明な点が多い。本論文では高周波プラズマにおいて，半導体ガスC4F8の分解効率の高いアンテナモードm=1の場合の磁界分布を実測値と計測値から検討した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 186 Kバイト