エネルギーイオン照射によるHOPGの硬度向上

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-187

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Dose Dependence of Surface Hardness by Low Energy Ion Irradiation on HOPG

著者名: 荒井 麻紗子(武蔵工業大学),浜村 尚樹(武蔵工業大学),岩尾 徹(武蔵工業大学),湯本 雅恵(武蔵工業大学)

著者名(英語): Masako Arai(Musashi Institute of Technology),Naoki Hamamura(Musashi Institute of Technology),Toru Iwao(Musashi Institute of Technology),Motoshige Yumoto(Musashi Institute of Technology)

キーワード: イオン照射|ナノインディテーション|グラファイト

要約(日本語): 著者らは,数100 eVの低エネルギーの窒素イオンを照射することにより，PMMAの表面改質を行っている．その結果，加速電圧100 Vで窒素イオンを照射することにより硬度が向上することを明らかにした．このの要因として，改質層に生成された炭素と窒素を介した共有結合や架橋構造によるものと推測した．しかし，PMMAは架橋構造を形成するために，硬度の向上の要因を特定することは難しい．本研究では架橋が形成されないHOPGを試料として用いた．そして，イオン照射後のHOPGにおいても窒素の導入に関係をもって硬度向上がみられた．このことから，イオン照射による硬度向上は炭素と窒素を介した結合が要因である可能性が示唆された．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 770 Kバイト