Ar-N2パルス変調誘導熱プラズマによるTi表面高速窒化

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-190

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル：Ar-N₂パルス変調誘導熱プラズマによるTi表面高速窒化

タイトル(英語): Rapid Surface Nitriding Process of Titanium Using Ar-N₂ Pulse Modulated Induction Thermal Plasmas

著者名: 室屋 貴史(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学)

著者名(英語): Takafumi Muroya(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University)

キーワード: 熱プラズマ|表面改質|窒化チタン|パルス|XRD

要約(日本語): 筆者らはこれまでにパルス変調誘導熱プラズマ（PMITP）を窒化用熱源として用い，金属表面の高速窒化処理技術の開発に取組んでいる。PMITPは誘導熱プラズマを維持するコイル電流をパルス的にAM変調させたもので，活性化学種の増大や，プラズマ温度場の制御など材料プロセスに優れた特性をもっている。今回筆者らはTiターゲットにAr-N2 PMITP直接照射することでTiN層の生成を試みた。その結果，処理時間3 min から5 minの試料において，XRD分析の結果TiN層が確認でき，また放射温度計を用いた基板温度測定においてパルス変調よる温度場制御の可能性も確認できた。この結果はPMITPが高速の表面改質の手法として十分な能力を有していることを示している。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,737 Kバイト