表面波プラズマ装置のアンテナ形状によるモード制御

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-192

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Mode control with slot antenna shape of surface wave plasma device

著者名: 畑崎芳成 (東京理科大学),小越 澄雄(東京理科大学)

著者名(英語): Yoshinari Hatazaki(Tokyo University of Science),Sumio Kogoshi(Tokyo University of Science)

キーワード: 表面波|プラズマ|アンテナ|モード|FDTD

要約(日本語): 表面波プラズマではモード(プラズマの発光パターン)と密度は密接に関係していると考えられていたが、密度を変化させてもモードが変化しないという測定結果が報告された。我々はこの報告に着目し、FDTDシミュレーションを行った結果、アンテナ形状によりモード制御が可能であるという結論を得た。本研究では、それを実験により検証することを目的としている。そこで、実験を行った結果、実際にもアンテナ形状でモード制御可能であることが確認された。さらに、モードと均一性の関係を調べた結果、モードを制御することで均一性の改善を図れることが示唆された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 761 Kバイト