表面波プラズマの静電プローブ診断

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-193

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Electrostatic probe measurement in surface wave plasma

著者名: 吉田 博昭(武蔵工業大学),小野 茂(武蔵工業大学)

著者名(英語): Yoshida HIroaki(Musashi Institute of Technology),Ono Shigeru(Musashi Institute of Technology)

キーワード: 表面波|プローブ|電子温度

要約(日本語): 比較的空間的均一性の高いプラズマ源として表面波プラズマが注目されている。このプラズマはアンテナ付近の誘電体窓付近はかなり高エネルギーの電子が生成されるが、これから離れた位置では平均電子エネルギーは低下している事などが理論的には予想されている。実際の応用を考えたとき、電子エネルギーに関する情報は極めて重要であることから、静電プローブによる詳細な計測を試みている。電子密度については高い電力・低気圧において高い電子密度が得られている。なお、EEDFの測定・比較に関する詳細も含め、これまでに得た実験結果について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 621 Kバイト