微細ガス流マイクロプラズマの放電特性における媒質ガス依存性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-194

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Discharge characteristic dependence on medium gases in microplasmas

著者名: 横山 拓馬(東京工業大学),浜田 修平(東京工業大学),井深 真治(東京工業大学),安岡 康一(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Takuma Yokoyama(Tokyo Institute of Technology),Shuhei Hamada(Tokyo Institute of Technology),Shinji Ibuka(Tokyo Institute of Technology),Koichi Yasuoka(Tokyo Institute of Technology),Shozo Ishii(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: マイクロプラズマ|微細ガス流|大気圧グロー放電

要約(日本語): マイクロプラズマは、ミクロンオーダの寸法を有するプラズマである。微小であるため粒子数密度を高くする要求から高気圧での放電となるので、新たな物理現象とその応用が期待される。著者らは、細管からガス流を自由空間に放出させることで媒質の質量を制限し、放電によりマイクロプラズマの生成を行う方式について提案した。ヘリウムガス流を用いた放電では、グロー放電と同様な現象を示すことが判明したが、多様な媒質を用いてマイクロプラズマの生成を行う必要がある。今回、ヘリウム、アルゴン、窒素をガス流として用いて放電特性の比較検討を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 845 Kバイト