高分解能三次元空間電荷測定装置の評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-004

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Evaluation of a High-resolution Three-dimensional Space Charge Distribution Measurement System

著者名: 前田 知哉(早稲田大学),大木義路 (早稲田大学),西方 敦博(東京工業大学),前野 恭(情報通信研究機構)

著者名(英語): Tomoya Maeda(Waseda University),Yoshimichi Ohki(Waseda University),Nishikata Atsuhiro(Tokyo Institute of Technology),Takashi Maeno(National Institute of Information and Communications Technology)

キーワード: 絶縁材料|固体絶縁体|電荷測定|PEA法|空間電荷|電荷分布

要約(日本語): 我々は、PEA法を用いた三次元空間電荷測定装置の開発を行っている。本装置は、音響レンズを使用し微小な測定領域の圧力波のみを圧電素子に伝えている。しかし、これまでの装置ではレンズの形状が適切ではなかったため装置の分解能は良くなかった。そこで、装置に適した新しいレンズを設計し分解能の向上を目指した。今回新しく設計したレンズで、試料内部の電荷がどれほどの分解能で測定されるかを確認するために、二枚のPETシートの間にアルミニウムを長方形に蒸着し電極とした試料を作成した。この蒸着電極に直流高電圧を印加して測定を行ったところ、本装置の面方向分解能は約200 μmであることが確認された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,157 Kバイト