AFMを用いたイオンマイグレーション前後の電極形状の3次元解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-022

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Measurements of Three Dimensional Shape of Electrode before and after Ion-Migration.

著者名: 水戸部一孝 (秋田大学),宮本貴志 (秋田大学),吉村昇 (秋田大学)

キーワード: イオンマイグレーション|デンドライト|プリント配線板|原子間力顕微鏡|絶縁破壊|信頼性評価

要約(日本語): 本研究はイオンマイグレーションの進展を防止する上で有用な配線パターンを設計する際に必要となるデンドライトの三次元構造と進展に関する基礎的知見を収集することを目的としている。そのために、レーザーフォーカス変位計と微動XYステージを組み合わせた三次元形状測定システムを構築した．1mm²の範囲の測定には三次元形状測定システムを，25μm²以下の測定にはAFMを用いてデンドライトと電極表面の形状を測定し，WDT法により発生させたイオンマイグレーション前後における3次元形状の経時変化について調べた．その結果、デンドライトはカソード表面で観察された三次元形状と等しい粒塊で構成されていることを確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 786 Kバイト