銅フタロシアニン斜方蒸着膜のNO2ガス電流応答特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-098

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Current Response to NO2 Gas in Copper Phthalocyanine Films Prepared by Oblique Vacuum Evaporation.

著者名: 若狭 貴博(新潟大学),落合 康成(新潟大学),新保 一成(新潟大学),金子 双男(新潟大学),加藤景三 (新潟大学),大平 泰生(新潟大学),川上 貴浩(新潟大学)

著者名(英語): Takahiro Wakasa(Niigata University),Yasunari Otiai(Niigata University),Kazunari Shinbo(Niigata University),Futao Kaneko(Niigata University),Keizo Kato(Niigata University),Yasuo Ohdaira(Niigata University),Takahiro Kawakami(Niigata University)

キーワード: 銅フタロシアニン|斜方蒸着|NO2

要約(日本語): 近年、NOx等の環境汚染物質に対する高速かつ高感度のセンサの開発が求められている。センサの感度向上には、センサ表面積を広げ検知ガスの吸着能を高めることが重要である。基板を蒸発源に対し傾けて蒸着する斜方蒸着法は、薄膜の表面凹凸を大きくできることから感度の向上が期待できる。また、フタロシアニンは各種ガス雰囲気中で電気特性などが変化するため、ガスセンサへの応用などから研究されている。本研究では、銅フタロシアニン(CuPc)を用いて斜方蒸着膜を作製し、NO2ガスに対する電流応答特性を調べた。その結果、斜方蒸着を用いた表面構造制御により、NO2センサの感度と応答速度が制御できることがわかった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 639 Kバイト