酸素添加した高周波スパッタリング法を用いた固体酸化物型燃料電池の作製と特性評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-102

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Property of Solid Oxide Fuel Cell Prepared by Using RF Magnetron Sputtering in Mixtures of Argon and Oxygen

著者名: 西本 彰文(大阪工業大学),見市 知昭(大阪工業大学),長田 昭義(大阪工業大学)

著者名(英語): Akifumi Nishimoto(Osaka Institute of Technology),Tomoaki Miichi(Osaka Institute of Technology),Akiyoshi Nagata(Osaka Institute of Technology)

キーワード: 固体酸化物型燃料電池|高周波マグネトロンスパッタリング|イオン導電性薄膜|イットリア安定化ジルコニア薄膜|酸素添加プラズマ

要約(日本語): 本研究では、高周波マグネトロンスパッタリング法を用いて、緻密なイットリア安定化ジルコニア（YSZ）電解質の薄膜化によって固体酸化物型燃料電池（SOFC）の高性能化を図っている。これまでは、緻密なYSZ膜を得るために熱処理をしてきたが、膜中に空孔が発生し電池性能が劣化することが判明した。そこで、熱処理せずに緻密なYSZ膜が作製でき、電池性能の向上が期待できる方策として、Arプラズマに活性ガスであるO2を添加してスパッタリング成長させ、高い酸化物イオン導電性をもつYSZ膜の作製を試みた。本報告では、成膜時のO2ガス添加によるYSZ電解質膜の微細・結晶構造およびSOFC単セルの特性評価を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 746 Kバイト