酢酸系溶液によるYBa2Cu3O7-x超伝導厚膜の作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-103

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル：酢酸系溶液によるYBa₂Cu₃O_7-x超伝導厚膜の作製

タイトル(英語): Preparation of superconducting YBa₂Cu₃O_7-x thick films with the solution of acetic acid

著者名: 中村卓誉 (鳥取大学),岸田悟 (鳥取大学)

キーワード: 酸化物超伝導|超伝導厚膜|化学溶液法

要約(日本語): YBa₂Cu₃O_7-x(YBCO)超伝導厚膜を用いた高周波フィルターは実用性の高い超伝導デバイスである．しかし，その超伝導厚膜は現在，高コストかつ低製膜速度で作製されていることと，常に低温での動作が相俟って，高い特性は示すが，実用性の低いものとなっている．そのため，低コスト，高い製膜速度で厚膜が作製できる化学溶液法の技術向上が実用化のために必要であると考えられる．現在の化学溶液法は,ハロゲン系の溶液を用いる方法が主流であるが，フッ化水素の発生など対人有害物質が発生することなどにより，将来的な技術とはいえない．本研究では，出発材料，溶媒を酢酸系に統一し，YBCO超伝導厚膜を化学溶液法により作製した. ここでは，超伝導特性に及ぼす本焼成の影響を明らかにした．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 840 Kバイト