クロム酸鉛薄膜の感湿特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-114

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Humidity Sensing Characteristics of Crystaline Lead Oxide Film

著者名: 佐々木 孝明(関東学院大学),菅 禎彦(関東学院大学),大津 稔(関東学院大学),平松 友康(関東学院大学),金子 文隆(湘南工科大学),難波 典之(関東学院大学)

著者名(英語): Takaaki Sasaki(Kanto-gakuin University),Yoshihiko Suga(Kanto-gakuin University),Minoru Ootsu(Kanto-gakuin University),Tomoyasu Hiramatsu(Kanto-gakuin University),Fumitaka Kaneko(Shonan Institute of Technology),Noriyuki Nanba(Kanto-gakuin University)

キーワード: 湿度センサ|母体制御型|薄膜|クロム酸鉛|電子ビーム蒸着|スパッタリング

要約(日本語): 湿度センサの感湿機構として注目を集めているのが母体制御型で、本研究で使用したクロム酸鉛は母体制御型の報告がある。さらにそのクロム酸鉛の中にも疎水性の性質を持つものと、親水性の性質を持つ2種類があり、これらを混合することで良質な湿度センサ素子の作製が可能との報告がある。しかし、報告例の厚膜や焼結体には粒界・気孔が存在し、母体制御型の性質とともに気制御の性質を併せ持つ可能性がある。そこで粒界・気孔を排除するために材料を薄膜化し,母体制御型の性質のみを持った湿度センサ素子を作製することが必要となる。そこで今回の報告では、このクロム酸鉛を3種類の方法を用いて薄膜結晶化し、考察を述べる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,145 Kバイト