イオン化蒸着法によるDLC太陽電池の作製-原料ガスのベンゼンとシクロオクタンによる比較-

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-120

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): The invention of the DLC solar cell by ionization vacuum evaporation method

著者名: 上村 公勇(日本大学),井田 秀彦(日本大学),中森 秀樹(ナノテック),鈴木 薫(日本大学)

著者名(英語): Tomoo Uemura(Graduate School of Nihon University),Hidehiko Ida(Graduate School of Nihon University),Hideki Nakamori(Nihon University),Kaoru Suzuki(Nihon University)

キーワード: DLC|太陽電池|ベンゼン|イオン化蒸着法|プラズマ

要約(日本語): 近年、化石燃料の大量消費による地球温暖化が問題となっている。そこで、化石燃料に変わるクリーンかつ無尽蔵なエネルギー源として、太陽エネルギーの利用が注目されている。そこで、著者等はDLC（Diamond-Like Carbon）のアモルファス半導体特性に着目し、イオン化蒸着法によりDLC薄膜を作製することを試みた。従来、DLC薄膜を作製するにあたって原料ガスにベンゼン(C6H6)を用いていたが発ガン性等の問題があるためシクロオクタン(C8H16)を用いDLCの成膜を試みた。今回は作成したDLC薄膜の物性について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 628 Kバイト