PLD法により作製した異方性Nd-Fe-B磁石膜の磁気特性とターゲット組成の関係

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-129

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Relationship between magnetic properties and target composition in anisotropic PLD-made Nd-Fe-B film magnets

著者名: 佐藤修一 (長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学),山下 文敏(松下電器産業)

著者名(英語): Shuichi Sato(Nagasaki University),Masaki Nakano(Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki University),Fumitoshi Yamashita(Matsushita Electric Industrial Co.)

キーワード: 永久磁石|PLD法|異方性磁石膜|磁性薄膜|Nd-Fe-B磁石

要約(日本語): 近年、数10～数100 μm程度の厚みを有する厚膜磁石の必要性が高まっている。一部の応用例に対して磁石膜の異方化はデバイスの特性向上に対し有効であり、例えばスパッタリング法では基板加熱を利用し、膜面に対して垂直方向に異方化させる方法が報告されている。本稿では、数種類の組成を有するターゲットを用い加熱を施した基板上にPLD法で高速成膜することにより異方性Nd-Fe-B磁石膜の作製を試みた。磁気特性ならびに、結晶構造の結果より、1時間に数10 mmの膜厚を高速成膜させる本実験においても、基板加熱法により異方性Nd-Fe-B磁石膜が作製できることが明らかとなった。

原稿種別: 日本語

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