電圧駆動を用いた磁気光学空間光変調器の圧電膜形成法の検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-171

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Study on formation of piezo-electric film for the voltage driven Magneto Optic Spatial Light Modulator

著者名: 高木 宏幸(豊田高専),溝口 真彦(豊橋技科大),都築 敦(豊橋技科大),西村 一寛(豊橋技科大),内田 裕久(豊橋技科大),明渡 純(産総研),井上 光輝(豊橋技科大)

著者名(英語): Hiroyuki Takagi(Toyota National College of Tech.),Masahiko Mizoguchi(Toyohashi University of Tech.),Atsushi Tsuzuki(Toyohashi University of Tech.),Kazuhiro Nishimura(Toyohashi University of Tech.),Hironaga Uchida(Toyohashi University of Tech.),Jun Akedo(AIST),Mitsuteru Inoue(Toyohashi University of Tech.)

キーワード: 磁気工学空間光変調器|圧電|エアロゾルデポジション法|ゾルゲル法

要約(日本語): 磁気光学空間光変調器(MOSLM)は、磁気光学層の磁化方位により光の偏波方位を制御するSLMであり、光体積記録等への応用が期待されている。我々は新しい電圧駆動によるMOSLMを提案し研究を行ってきた。このMOSLMは従来の電流駆動による発熱の問題が低減でき、PZTの高速動作による高フレーム速度が得られる。これまでMOSLMの圧電膜形成はゾルゲル法を利用してきたが高温熱処理による薄膜の剥離などの問題が生じていた。今回はMOSLMの圧電膜形成法としてゾルゲル法と衝突エネルギーを利用した低温成膜法であるエアロゾルデポジション法の2種類で行い、電圧駆動型MOSLMの圧電膜形成法について検討した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 665 Kバイト