薄膜磁石を用いた平面型磁気マシンの試作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-176

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Fabrication of magnetic machine of planer structure with magnetic thin film

著者名: 山崎 彩(東北大学),仙道 雅彦(東北大学),石山 和志(東北大学),荒井賢 一(東北大学)

著者名(英語): Aya Yamazaki(RIEC,Tohoku University),Masahiko Sendoh(RIEC,Tohoku University),Kazushi Ishiyama(RIEC,Tohoku University),Ken Ichi Arai (RIEC,Tohoku University)

キーワード: マイクロマシン|薄膜磁石|回転磁界

要約(日本語): マシンサイズを数十μmまで小型化を行う際，バルク磁石を用いて行うことは困難であり，薄膜磁石によるマシンの作製が必要となる．本研究では，薄膜磁石を用いた平面型磁気マイクロマシンを微細加工技術を用いて作製した。作製したマシンサイズは、長さ60μm、幅30μm、マシンの厚さ12μmである。実験の結果，薄膜磁石を用いた平面型磁気マイクロマシンは回転磁界に同期して回転し推進した．このときの回転磁界周波数は10 Hz，レイノルズ数は1であった．以上の結果から，薄膜磁石を用いた平面型磁気マイクロマシンは駆動可能であることが示された．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 673 Kバイト