レジストジェット飛翔の画像計測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-005

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Image Measurement of Flying Resists Jet

著者名: 牛尾 敏光(福岡工業大学),松尾 一壽(福岡工業大学),富川 武彦(神奈川工科大学),永山 邦仁(九州大学)

著者名(英語): Toshimitsu Ushio(Fukuoka Institute of Technology),Kazuhisa Matsuo(Fukuoka Institute of Technology),Takehiko Tomikawa(Kanagawa Institute of Technology),Kunihito Nagayama(Kyushu University)

キーワード: レジスト|レーザ観測|画像計測

要約(日本語): インクジェット技術を応用した記録装置(プリンタ)としての開発は，ほぼ完成された感がある。しかし最近，インクジェット技術は，プリンタ以外の広範囲な分野において応用が検討されている。著者らは，半導体ウエハーのレジスト塗布方法としてインクジェットを応用するための検討を行っている。これは半導体ウエハーの広面積化に伴ったレジスト塗布を念頭に置いているためである。このレジスト塗布方法として，静電誘引形インクジェット方式に特有なレジストの飛翔状態を塗布に応用することを考えた。本稿では，静圧がレジスト飛翔に与える影響について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 773 Kバイト