金属・セラミックス・半導体のフェムト秒レーザ加工特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-011

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Characteristics of femtosecond laser processing for metals, ceramics and semiconductors

著者名: 藤田雅之 (レーザー技術総合研究所),木下篤 (大阪大学),和田勇次郎 (近畿大学),井澤友策 (大阪大学),橋田昌樹 (京都大学),中野人志 (近畿大学),井澤靖和 (大阪大学),山中千代衛 (レーザー技術総合研究所)

キーワード: レーザ加工|フェムト秒加工

要約(日本語): フェムト秒レーザの特徴のひとつとして、加工部周辺の熱影響層がきわめて小さいということが注目されてきた。我々は、これまでに金属（主に銅）、セラミックス、半導体の加工データを蓄積してきたが、詳細な検討の結果、加工部周辺だけではなく加工痕内部においても横方向の熱的影響の少ない加工が可能であることを見いだした。即ち、加工痕においてレーザ光強度分布が忠実に加工形状に反映されるという現象である。講演では、銅、セラミックス、半導体を試料として用いたフェムト秒レーザ加工実験結果を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 681 Kバイト