柔軟薄膜とSi構造を組み合わせた多点支持型能動曲面の研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-120

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Research of Multipoint Support Type Active Curved Surface that Combines Flexible Thin Film with Si Structure

著者名: 兼清 浩(立命館大学),雑賀 智彦(立命館大学),小西 聡(立命館大学)

著者名(英語): Hiroshi Kanekiyo(Ritsumeikan University),Tomohiko Saika(Ritsumeikan University),Satoshi Konishi(Ritsumeikan University)

キーワード: 柔軟薄膜|PDMS|能動曲面|ECLIA|鉛直動作アクチュエータ|大変位動作

要約(日本語): 本論文では、基板外への鉛直方向に大変位動作を行うマイクロアクチュエータ、および鉛直動作マイクロアクチュエータを用いて柔軟な薄膜の表面形状を制御することができる多点支持型能動曲面について述べる。鉛直動作マイクロアクチュエータは圧電素子による微小変位と、静電引力による吸着力を組み合わせたECLIAの動作原理を鉛直方向に用いることにより、鉛直方向に高分解能かつ大変位の動作を線形かつ並列に行うことが可能な構造を提案する。さらに、バッチプロセスの特徴を活かしアレイ状に製作・配置したスライダを用いて、柔軟な薄膜を多点支持・変形し、表面形状を制御することができる多点支持型能動曲面の実現について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,614 Kバイト