円筒型コイルを利用した電磁駆動ソレノイド型マイクロアクチュエータの製作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-121

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Fabrication of Solenoidal Electromagnetic Microactuator utilizing Spiral coil

著者名: 望月浩晃 (兵庫県立大学),銘苅春隆 (兵庫県立大学),服部正 (兵庫県立大学),久住真治 (進工業),嶋田修 (進工業),佐藤憲昭 (樹研工業),山下満 (兵庫県立工業技術センター)

キーワード: アクチュエータ|電磁駆動|ソレノイド|アンペア・ターン|円筒型マイクロコイル

要約(日本語): 「マイクロアクチュエータ」に関する研究は、各方面で盛んに行われており、その駆動力源は静電力・圧電力・電磁力等様々な物が挙げられる。本研究では、この中でも特に電磁駆動型のアクチュエータに着目した。一般的に電磁駆動型アクチュエータは、電流路が微細化すると大きな電流が流せなくなり、出力が出せないことから、小型化に向いていないとされる。しかし本研究室においては昨年度、3D-LIGAプロセス及びメタライズを用いた円筒型マイクロコイルの製作プロセスが確立された。この配線技術を利用して微細且つ高アスペクト比の電流路を形成し、小型且つ高出力の電磁駆動型マイクロアクチュエータに展開することを本研究の目的とした。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 691 Kバイト