応力層によるねじり梁を用いた静電駆動スパイラルアクチュエータ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-122

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Electrostatic Spiral Actuator with Stress-Induced Twisted-cantilevers

著者名: 島本 延亮(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),高山 洋一郎(兵庫県立大学)

著者名(英語): Nobuaki Shimamoto(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Yoichiro Takayama(University of Hyogo)

キーワード: 応力|反り|スパイラルアクチュエータ|ねじり梁|表面MEMS

要約(日本語): 表面MEMSにおいて、Poly-Si の梁構造上にAu/Cr などの引っ張りの内部応力が存在する層（以後応力層と呼ぶ）を形成すると、梁は基板から反り上がる。この梁と基板の間に絶縁層を介して電圧を加えると静電引力によって梁は基板に引きつけられる。このようなアクチュエータでは、梁長を延ばすことで大変位が可能であるが、これはチップサイズの増大に繋がる。梁をスパイラル状に形成することによってこの問題は回避できるが、全面が、応力層とPoly-Si 層の2 層からなる梁ではアクチュエータの先端変位を大きくとることができない。そこで本報告ではねじり梁構造を提案し、その連結によって大きな変位とチップ面積効率の向上を同時に実現するアクチュエータを実現する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 791 Kバイト