水素吸蔵によるPdの変形を動力源とした表面マイクロマシン用アクチュエータ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-123

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): A micro actuator using shrinkage of Pd thin film by absorption/desorption of hydrogen

著者名: 豊田 耕平(山形大学),奥山 澄雄(山形大学),土田 朗義(山形大学),長沼 博(山形大学),松下 浩一(山形大学)

著者名(英語): Kohei Toyoda(Yamagata University),Sumio Okuyama(Yamagata University),Akiyoshi Tsuchita(Yamagata University),Hiroshi Naganuma(Yamagata University),Koichi Matsushita(Yamagata University)

キーワード: アクチュエータ|表面マイクロマシニング|パラジウム|水素吸蔵|三次元微小構造|片持梁

要約(日本語): 表面マイクロマシニングにより3次元微小構造を作成するためには，組み立ての動力源となるアクチュエータが必要である．水素吸蔵によるPdの変形を用いた表面マイクロマシン用アクチュエータについて報告する． Pdは雰囲気中の水素を吸蔵し膨張する性質を持つ金属である．Pd薄膜を成膜した片持梁が置かれた雰囲気中に水素を導入すると，ガラスとPdの水素吸蔵による膨張率の差により片持梁は反り下がる．その後，水素を排気し大気を導入すると，初期の状態を越えて片持梁は反り上がる．この片持梁の変形を，表面マイクロマシンの立体構造を作成するためのアクチュエータとして利用した．結果として基板に垂直なマイクロミラーを実現できた．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 672 Kバイト