RF MEMSスイッチの要素技術開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-125

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Development of the elemental technology for RF MEMS Switch

著者名: 森口誠 (オムロン),佐藤正武 (オムロン),渡辺秀明 (オムロン)

キーワード: スイッチ|リレー|高周波|MEMS

要約(日本語): 高周波（RF；Radio Frequency）帯における信号処理技術は、音声、画像などの「大容量情報」をより高速に処理し伝送するために必須の技術である。しかし数百MHz以上のRF領域においては信号の損失や劣化が無視できなくなる。MEMSはそのサイズから基本的にRFデバイスに適用しやすい技術だが、プロセスや構造上の制約から材料、構造、回路設計に工夫が求められる。10GHz伝送時代に対応できるRF MEMSスイッチの開発のためには安定した動作・接触を継続する動作信頼性と高周波に対応したパッケージング技術の確保が大きな問題となる。その概要を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 968 Kバイト