キャビティ構造を有した線路駆動型RF MEMSスイッチ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-126

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): A Movable-Waveguide MEMS Switch with a Silicon Cavity

著者名: 曽田 真之介(三菱電機),吉田 幸久(三菱電機),西野 有(三菱電機),半谷 政毅(三菱電機),宮崎 守泰(三菱電機),田口 元久(三菱電機)

著者名(英語): Shinnosuke Soda(Mitsubishi Electric Co.,Advanced Technology R&D Center),Yukihisa Yoshida(Mitsubishi Electric Co.,Advanced Technology R&D Center),Tamotsu Nishino(Mitsubishi Electric Co.,Advanced Technology R&D Center),Masatake Hangai(Mitsubishi Electric Co.,Advanced Technology R&D Center),Moriyasu Miyazaki(Mitsubishi Electric Co.,Advanced Technology R&D Center),Motohisa Taguchi(Mitsubishi Electric Co.,Advanced Technology R&D Center)

キーワード: マイクロマシン|スイッチ|高周波|MEMS

要約(日本語): キャビティ構造を有した線路駆動型のMEMSスイッチを作製し、接点数による高周波特性の違いを検証した。Sパラ測定の結果、接点が一つのスイッチ（単接点型）は40GHzで挿入損失が1.0dB、アイソレーションが-25dBであった。また、接点が四つのスイッチ（多接点型）は40GHzで挿入損失が0.35dB、アイソレーションが-20dBであった。本スイッチの構造は接点一つあたりのコンタクト力が低下しにくいので、接点の数（面積）に順じて有効接触面積が増加したと考えられる。またキャビティ構造を用いることで、これまでに我々が報告してきた低損失伝送線路や3dB分配器などとプロセス整合性を保つことができる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,814 Kバイト