格子状に配置した静電駆動MEMSミラーとその制御に関する研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-128

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): MEMS mirror array and control scheme

著者名: 吉田 憲弘(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),高山 洋一郎(兵庫県立大学)

著者名(英語): Norihiro Yoshida(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Youichirou Takayama(University of Hyogo)

キーワード: MEMS ミラー|静電駆動|アレイ

要約(日本語): 近年、光ネットワークの高速化によりMEMSミラーアレイを用いたオール光コネクトの研究が行われている。本稿ではシンプルな構造で6×6の光入力から1つの光出力を得るミラーアレイとその駆動方法を提案する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 583 Kバイト