Si加工技術を用いたER駆動バルブの製作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-130

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): A Study of ER Drive Valve by Silicon Processing Technology

著者名: 冨田 一孝(山形大学),原田 知親(山形大学),奥山 澄雄(山形大学),長沼 博(山形大学),松下 浩一(山形大学),中野 政身(山形大学)

著者名(英語): Kazutaka Tomita(Yamagata University),Tomochika Harada(Yamagata University),Sumio Okuyama(Yamagata University),Hiroshi Naganuma(Yamagata University),Koichi Matsushita(Yamagata University),Masami Nakano(Yamagata University)

キーワード: ER流体|ER駆動バルブ|Si加工技術|熱酸化|異方性エッチング|陽極接合

要約(日本語): ER流体（Electro Rheological Fluid）とは、外部から電界を印加することで粘性を変化させることのできる流体である。そのため電圧のON、OFFで可動部のないバルブが実現できる。ところで、Si微細加工技術を利用したマイクロマシンが多数報告されている。これはSi加工が容易であることと駆動回路を集積化できることに起因している。そこで、ER駆動バルブをSi基板上に実現することで駆動回路を含めたコンパクトな油圧駆動システムを構築できる。よって、本研究では、コンパクトな油圧駆動システムを構築するためのER駆動バルブを、Si加工技術を用いて製作し、評価を行なう。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 675 Kバイト