多数の穴を有する薄膜電極を用いたイオンドラッグマイクロポンプの特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-131

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Characteristics of Ion Drag Micropump by Using Thin Film Electrode with Many Holes

著者名: 堀田 和佳(豊田工業大学),早川 聡一郎(豊田工業大学),土田縫夫 (豊田工業大学),松本 学(三菱電機)

著者名(英語): Kazuyosi Hotta(Toyota Technological Institute),Soichiro Hayakawa(Toyota Technological Institute),Nuio Tsuchida(Toyota Technological Institute),Manabu Matsumoto(Mitsubishi Electric Corporation)

キーワード: イオンドラッグ|マイクロポンプ|EHD|薄膜電極

要約(日本語): 本稿では，多数の穴を開けた絶縁薄膜の片面に金属薄膜を形成した電極を2つおよび4つ用いた駆動部厚さが100mmオーダーの2電極および4電極イオンドラッグマイクロポンプを提案した。特性測定を行った結果，2電極型および4電極型イオンドラッグマイクロポンプは共に印加電圧の極性に関わらず一定方向への流動を生じており，2電極型から4電極型へ電極の数を増やすことで発生圧力を約2.5倍高めることができた。4電極イオンドラッグマイクロポンプは著者らが開発してきた従来の金網電極を用いたイオンドラッグマイクロポンプに比べて約5倍の極めて大きな発生圧力が得られ，最低駆動電圧を1000Vまで低減することができた。

原稿種別: 日本語

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