X線リソグラフィを用いたテーパー構造体の作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-134

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Production of microstructure with inclined sidewall by 3D X-rays Lithography

著者名: 瀬戸本 豊(兵庫県立大学),植田 寛康(東海理化),上野 洋(東海理化),糸魚川 貢一(東海理化),服部 正(兵庫県立大学)

著者名(英語): Yutaka,Setomoto|Hiroyasu,Ueda|Hiroshi,Ueno|koichi,Itoigawa|Tadashi,Hattori

キーワード: X線リソグラフィ|テーパー

要約(日本語): 本研究ではX線リソグラフィを使った2つの方法によりテーパー構造体の作製について検討を行った。1つは膜厚に分布を持ったX線吸収体をマスクとして用いてX線リソグラフィを行う方法である。X線吸収体は過剰めっきを用いてバンプ形状を作製することにより膜厚に分布を持たせた。またこのX線吸収体を用いてX線リソグラフィを行い、側面が若干テーパー形状になっている構造体を作製した。もう1つはX線リソグラフィ時にX線の回折を利用する方法である。X線リソグラフィの際にX線マスクとレジストの距離を変えることによるレジストの加工形状の変化を調査した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 877 Kバイト