H2Oイオンによる照射によるフッ素樹脂の表面改質

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-140

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Surface modification of fluorocarbon polymer by H2O ion irradiation

著者名: 山下 修平(姫路工業大学),瀬戸本 豊(兵庫県立大学),植田 寛康(東海理化),糸魚川 貢一(東海理化),奥田 孝一(兵庫県立大学),服部 正(兵庫県立大学)

著者名(英語): Shuhei Yamashita(Himeji Institute of Technology),Yutaka Setomoto(University of Hyogo),Hiroyasu Ueda(TOKAIRIKA co.,LTD.),Kouichi Itoigawa(TOKAIRIKA co.,LTD.),Kouichi Okuda(University of Hyogo),Tadashi Hattori(University of Hyogo)

キーワード: 表面改質|親水化|テフロン|イオン照射

要約(日本語): テフロン（PTFE）表面にECRをイオン源とするイオンガンを用いてH2Oイオンを照射することにより，表面改質を行った。さらに表面改質を行ったPTFE表面にスパッタリング法によりCr薄膜を形成した。これにより表面改質を行わない場合よりも実に6MPa高い剥離強度を持つCr薄膜の形成に成功し，PTFEの表面の不活性な性質を改質できた。本研究の目的は，この技術をさらに発展させていくことにより，PTFEに実用的な強度を備えた厚さの金属膜の形成や，PTFEを基板とした高周波回路の製作など，PTFEの活用領域を広げていくことである。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 813 Kバイト