GaAs/セラミックス複合型カンチレバーの試作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-141

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Micro-fabrication of Gallium Arsenide/Ceramic Hybrid Cantilever for Atomic Force Microscope Application

著者名: 宮本 高志(北陸先端科学技術大学院大学),岩田 展也(北陸先端科学技術大学院大学),大西 孝史(北陸先端科学技術大学院大学),小出 昌広(北陸先端科学技術大学院大学),廣島大三 (北陸先端科学技術大学院大学),赤堀誠志 (北陸先端科学技術大学院大学),山田 省二(北陸先端科学技術大学院大学)

著者名(英語): Takashi Miyamoto(Center for Nano Materials and Technology,Japan Advanced Institute of Science and Technology),Nobuya Iwata(Center for Nano Materials and Technology,Japan Advanced Institute of Science and Technology),Takashi Ohnisi(Center for Nano Materials and Technology,Japan Advanced Institute of Science and Technology),Masahiro Koide(Center for Nano Materials and Technology,Japan Advanced Institute of Science and Technology),Daizo Hiroshima(Center for Nano Materials and Technology,Japan Advanced Institute of Science and Technology),Masashi Akabori(Center for Nano Materials and Technology,Japan Advanced Institute of Science and Technology),shoji Yamada(Center for Nano Materials and Technology,Japan Advanced Institute of Science and Technology)

キーワード: GaAs|カンチレバー

要約(日本語): 以前われわれは新機能を付与しうる走査プローブ顕微鏡用カンチレバーとして、化合物半導体GaAsでチップ部、ビーム部、台座部を一体成型したものを報告した。しかし、台座部に関しては当面装置への取り付け部としての機能しか有さないため半導体である必要はない。また、半導体が比較的高価なもの（SOIやGaAs等）である場合は、台座部の他の材料への置き換えは作製コストの低減に繋がる。そこで、我々は台座部に快削性セラミックスを使用したGaAs／セラミックス複合型カンチレバーを試作したので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,315 Kバイト