AFMピンセットによるナノ物質操作に関する研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-143

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Study of AFM tweezers for manipulation of nanometer size objects

著者名: 中川 和久(香川大学),武川 哲也(香川大学),橋口 原(香川大学),角嶋 邦之(東京大学),藤田 博之(東京大学)

著者名(英語): Kazuhisa Nakagawa(Kagawa University),Tetsuya Takekawa(Kagawa University),Gen Hashiguchi(Kagawa University),Kuniyuki Kakushima(The University of Tokyo),Hiroyuki Fujita(The University of Tokyo)

キーワード: 原子間力顕微鏡|カンチレバー|ナノテク

要約(日本語): 試作したAFMピンセットに関する研究について発表する。AFM内で観察したナノ物質を捕獲する為に、我々はピンセット形状のAFMカンチレバーを半導体微細加工技術を用いて開発した。このデバイスは先端部に楔形状の2本のアームとそれを支えるカンチレバー、さらに根元部に駆動用マクロアクチュエータとで構成される。先端部はシリコン異方性エッチングを用いて非常に先鋭化されている。このAFMピンセットはバイオ、ナノ分野において非常に強力な研究用デバイスになると考えている。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 826 Kバイト