半導体マイクロマシニングで製作したプラノ‐コンベックス型水晶振動子の振動特性評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-147

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Evaluation of resonance characteristic of microfabricated plano-convex quartz crystal resonator

著者名: 坂田英治 (東北大学),江刺正喜 (東北大学),西澤松彦 (東北大学),安部隆 (JSTさきがけ)

キーワード: 水晶振動子|プラノ‐コンベックス|エネルギー閉じ込め|電極面積比

要約(日本語): ATカット水晶振動子において、プラノ‐コンベックス形状は振動エネルギーを閉じ込める効果をもつために水晶振動子の形状として非常に望ましい事が知られている。現状ではコンベックス形状を得るためには水晶を研磨する必要がある。しかし、機械研磨では表面の損傷、集積化が非常に困難、大量生産に向かないといった欠点がある。我々が開発した半導体マイクロマシニング技術を用いると小型で高いQ値の水晶振動子を大量生産することが可能になる。本研究では半導体マイクロマシニング技術を用いて製作したプラノ‐コンベックス型水晶振動子の振動特性の評価結果について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 679 Kバイト