MEMS有機材料の炭化と半導体基礎特性評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-148

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Evaluation of Semiconductivity of Pyrolyzed Polymer Derived from MEMS Material

著者名: 永惠 英樹(立命館大学),佐川 徹平(立命館大学),小西 聡(立命館大学)

著者名(英語): Hideki Nagae(Ritsumeikan University),Teppei Sagawa(Ritsumeikan University),Satoshi Konishi(Ritsumeikan University)

キーワード: パイロポリマー|炭素材料|MEMS有機材料|半導体特性

要約(日本語): 本研究では有機材料を不活性雰囲気中で熱分解して得られるパイロポリマーのMEMS分野への応用を目指している。パイロポリマーは原材料の違いや熱処理条件の違いにより特性が変化し、その導電特性には半導体的挙動も確認されている。我々はパイロポリマーの原材料としてMEMS有機材料を用い、MEMSにおけるプロセス温度との整合性から熱処理温度を1000℃以下とした。こうしたMEMSとの整合性の観点からパイロポリマーを検証する研究は新しいものであるといえる。本研究では、特にパイロポリマーの半導体特性に注目し、MEMS有機材料を用いたパイロポリマーの導電性やキャリアの評価を通して半導体特性を調べ、今後のMEMS分野への応用展開を図る。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,118 Kバイト