センサ応用のための矩形水晶振動子の超小型化

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-153

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Miniaturization of AT-strip resonator with rectangular shape for sensor applications

著者名: 安部 隆(東北大学),李 興華(東北大学),島本 尚典(東北大学),西澤 松彦(東北大学),江刺 正喜(東北大学)

著者名(英語): Takashi Abe(Tohoku University),Xinghua Li(Tohoku University),Hisanori Simamoto(Tohoku University),Matsuhiko Nishizawa(Tohoku University),Masayoshi Esashi(Tohoku University)

キーワード: 水晶振動子|マイクロマシニング|センサ

要約(日本語): センサ応用のために矩形形状の外形を有するコンベックス形状水晶振動子片の高性能化, 小型化及び大量生産法を開発した。本加工法はレンズ形状の厚さ分布を持つホトレジストを反応性イオンエッチング技術で水晶板へ転写することで行われた。製作した振動子は無加工の場合と比較してQ値が一桁以上向上し小型化に不可欠な技術であることが明らかになった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 727 Kバイト