水晶を用いた高感度傾斜角センサの検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-154

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Study of a high sensitive tilt sensor using quartz crystal

著者名: 幸坂扶佐夫 (早稲田大学),梁金星 (坂本電機製作所),植田 敏嗣(早稲田大学)

著者名(英語): Fusao Kohsaka(Waseda University),Jinxing Liang(Sakamoto Electric MFG.Co.,Ltd),Toshitsugu Ueda(Waseda University)

キーワード: 傾斜角センサ|マイクロマシニング|水晶|静電容量|差動式

要約(日本語): MEMS技術の応用として加速度センサの開発例は多いが、微小重力変化を検出する傾斜角センサへの応用例は少ない。我々は、水晶の異方性エッチング特性を利用した傾斜角センサの可能性について検討を行い、小型、高感度傾斜角センサが実現可能であることを確認した。一例として、外形寸法5x5mmのウェハチップを想定し、この中に各構成要素を盛り込み数値計算を行った。初期容量値 (C0)は 3.5 pFで感度 (ΔC/C0)は1.0 % at 1degの解析結果が得られた。この値は初期容量が比較的小さいものの、傾斜センサとして0.0001degの分解能を実現できる特性と判断できる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 839 Kバイト