ダイオードブリッジ型差動容量検出回路

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-155

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Study on a Diode-bridge Type Differential Capacitance Detection Circuit

著者名: 松尾 高博(早稲田大学),梁金星 (坂本電機製作所),國友 建(坂本電機製作所),植田 敏嗣(早稲田大学)

著者名(英語): Takahiro Matsuo(Waseda University),Jinxing Liang(Sakamoto Electric MFG. Co.,Ltd.),Ken Kunitomo(Sakamoto Electric MFG. Co.,Ltd.),Toshitsugu Ueda(Waseda University)

キーワード: 差動容量センサ|容量検出回路|水準器

要約(日本語): 可動電極型差動容量デバイスのための差動容量検出回路として、ダイオードブリッジ型を提案し、その電極変位?電圧変換の原理、理論式、PSPICEによるシミュレーションおよび実回路での特性評価について述べる。対象となるデバイスは、マイクロマシニング技術を用いた水晶のねじりバネ構造を用いており、水準器として開発している。検出分解能1/10000度を達成するための回路構成を提案する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 592 Kバイト