マイクロアレイセンサを用いたリアルタイム空中超音波計測系

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-156

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Realtime measurement system with airborne ultrasound using micromachined array sensor

著者名: 山下 馨(大阪大学),鶴谷 泰介(大阪大学),奥山 雅則(大阪大学)

著者名(英語): Kaoru Yamashita(Osaka University),Taisuke Tsurutani(Osaka University),Masanori Okuyama(Osaka University)

キーワード: 超音波|リアルタイム計測|三次元計測|マイクロアレイセンサ

要約(日本語): 超音波マイクロアレイセンサとFPGAを用いた信号処理回路を組み合わせてリアルタイム三次元計測系を試作し、空中超音波にてリアルタイムで物体位置計測を行った。SOIウェハの異方性エッチングにより作製したマイクロ構造上にゾルゲルPZT薄膜を堆積してマイクロアレイセンサを作製し、L字形に7素子を選んで方位角および仰角方向の計測用にそれぞれ4素子のリニアアレイを構成した。センサの出力はプリアンプで増幅された後1MHzのサンプリングレートでA/D変換された後FPGAに入力される。FPGAではPCからのコマンド操作により、パルス超音波発信時点からの時間計測を行いつつセンサからの入力波形を監視し、反射波をとらえたと判断すると、波形を内部のバッファに蓄積するとともにPCへ情報転送する。PCではFPGAからのデータを基に物体の位置を計算し、リアルタイムでディスプレイに表示する。実際にアクリル球を対象として計測を行い、パルス音源の繰り返し周波数約6Hzでリアルタイムに空中での三次元位置計測を実現した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 811 Kバイト