STW素子を用いたガスセンサの検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-169

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Gas Sensor using Surface Transverse Wave Device

著者名: 奈良 誠(日本無線),谷津田 博美(日本無線),黒澤 茂(産業技術総合研究所),愛澤 秀信(産業技術総合研究所)

著者名(英語): Makoto Nara(Japan Radio Co.,Ltd.),Hiromi Yatsuda(Japan Radio Co.,Ltd.),Shigeru Kurosawa(Advanced Industrial Science and Technology),Hidenobu Aizawa(Advanced Industrial Science and Technology)

キーワード: STW|SAW|弾性波|センサ|ガス|周波数

要約(日本語): 近年、環境分野を中心に様々な状況や場所での各種ガス濃度測定が必要とされており、水晶振動子やSAW等の弾性波を利用したセンサが報告されている。本稿では、高感度化を目的として、高周波化に有利なSTW（Surface Transverse Wave）を利用したガスセンサについて検討したので報告する。中心周波数が245MHzのSTWフィルタ上にアリルアミン膜を成膜することで、湿度に対して感度の高いセンサが実現できた。従来の水晶振動子（9MHz）上にアリルアミン膜を付けた場合の素子と比較して約70倍の感周波数変化が得られた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 550 Kバイト