酸化銅厚膜素子の感湿特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-170

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Humidity-Sensitive Charasteristics of Copper Oxide Thick Film Elements

著者名: 金子 文隆(湘南工科大学),山崎 貴(国士舘大學),難波 典之(関東学院大學)

著者名(英語): Fumitaka Kaneko(Shonan Institute of Technology),Takasi Yamasaki(Kokusikan University),Noriyuki Nanba(Kantogakuin University)

キーワード: 湿度センサ|厚膜素子|酸化銅|感湿特性

要約(日本語): 湿度計測において新しい感湿材料を用いた湿度センサの開発が望まれている。酸化銅は古くから電気機能材料として使用されてきたが、近年半導体素子にその位置をあけわたしている。しかし、酸化銅のもつ特性はその酸化量により、絶縁物から導体へと顕著な変化を示す。これに注目をして厚膜素子を作製し抵抗ー湿度特性を測定したところ酸化銅と亜酸化銅では全く異なる特性を示した。そこで酸化度による感湿特性の変化を調べたのでそれら変化とその原因についての検討を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 296 Kバイト