WO3セラミック粒子と薄膜ヒーターによる高感度NO2センサの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-173

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): High sensitivity NO2 sensor using WO3 particles and thin film heater

著者名: 中田 嘉昭(堀場製作所),山岸 豊(堀場製作所),松本 晋一(エフアイエス),玉置 純(立命館大学)

著者名(英語): Yoshiaki Nakata(Horiba),Yutaka Yamagishi(Horiba),Shinichi Matsumoto(FiS),Jun Tamaki(Ritsumeikan University)

キーワード: 薄膜|半導体センサ|NOX

要約(日本語): 半導体式のガスセンサの中でもWO3を使ったNOXセンサは高感度であり、1ppm以下の低濃度NO2を検知できることから、大気汚染測定用への応用が期待されている。しかしWO3のNO2感度には温度依存性があり、センシングの際にはWO3を200℃程度に均一に、精度良く昇温する必要がある。我々はMEMS技術を用いて作製したダイヤフラム構造の薄膜部分にヒーターを形成し、その上にWO3膜を形成することを試みた。薄膜化によって温度の均一化が容易になるだけでなく、消費電力を低く抑えることができ、最終製品の小型化、低価格化ができると考えられる。更にWO3膜形成の際の焼成も薄膜部分のヒーターで行うことを検討している。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 769 Kバイト