ホール効果測定による半導体薄膜ガスセンサの動作機構に関する研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-174

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Study on Operation Mechanisms of Semiconductor Thin-Film Gas Sensors by Hall Effect Measurements

著者名: 植村 大蔵(東京電機大学),原 和裕(東京電機大学)

著者名(英語): Daizo Uemura(Tokyo Denki University),Kazuhiro Hara(Tokyo Denki University)

キーワード: 薄膜ガスセンサ|ホール効果|キャリア密度|ホール移動度|ガス検出機構

要約(日本語): RFスパッタリング法を用いて作製したFe₂O₃系薄膜ガスセンサは、NO_X等の環境汚染ガスや、H₂、i-C₄H₁₀等の可燃性ガスに対して感度を示すが、そのキャリア密度やホール移動度、およびそれらのガス中での変化については、不明な点が多い。そこで、そのホール効果を大気中、NO_Xまたは可燃性ガスを含む大気中で測定し、キャリア密度やホール移動度がどのように変化するかを調べ、ガス検出機構について考察したので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,812 Kバイト