水素ガスセンサの感応膜の特性評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-175

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Characteristic Evaluation of Gas Sensitive Films for Hydrogen Gas Sensor

著者名: 山口富治 (岡山大学),紀和利彦 (岡山大学),塚田啓二 (岡山大学),中野定樹 (日立製作所),右高園子 (日立製作所),横澤宏一 (日立製作所)

キーワード: 水素センサ|ガス感応膜|FET

要約(日本語): 現在、水素を検知するためのセンサとしてさまざまなタイプのものが研究されており、その1つとしてゲート電極にガス感応膜を蒸着したFET型センサがある。本研究では、FET型水素センサのガス感応膜としてパラジウム(Pd)と白金(Pt)の2種類の触媒金属を用いたものを作製し、感度や応答時間、またそれらの温度依存性などを調べることによって、それぞれの素子の検出特性を評価した。その結果、1ppm～10%までの範囲ではどちらの感応膜でも検知が可能であるが、Ptの方が高速応答性に優れていることが分かった。また、水素の吸着・脱離のメカニズムがそれぞれの感応膜で異なっている事が、温度依存性から示唆された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 737 Kバイト