FET型水素センサを用いた水素漏洩検知システムの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-177

グループ名: 【全国大会】平成17年電気学会全国大会論文集

発行日: 2005/03/15

タイトル(英語): Development of a hydrogen detection system using FET-based gas sensors.

著者名: 中野 定樹(日立製作所),横澤宏一 (日立製作所),後藤 康(日立製作所),右高 園子(日立製作所),渡辺 篤雄(日立製作所),嘉本大五郎 (日立製作所),塚田 啓二(岡山大学)

著者名(英語): Sadaki Nakano(Hitachi,Ltd.),Koichi Yokosawa(Hitachi,Ltd.),Yasushi Goto(Hitachi,Ltd.),Sonoko Migitaka(Hitachi,Ltd.),Atsuo Watanabe(Hitachi,Ltd.),Daigorou Kamoto(Hitachi,Ltd.),Keiji Tsukada(Okayama University)

キーワード: 水素センサ|ガス|検知システム|FET|水素|センサ

要約(日本語): 燃料電池車に水素ガスを供給する水素ステーション向けに、低消費電力で感度に優れるFET型水素センサと水素ガスの拡散状況をリアルタイムでモニタできる検知システムを試作した。水素センサは、シリコン基板に生成したFETのゲート電極部に触媒電極としてPdを成膜した構成とした。検知システムは、ステーション全域にセンサノードと呼ばれる電池駆動の小型無線端末を設置して、水素ガスの漏洩状況をモニタできるシステムとした。センサ単体として100ppmの水素に1秒以内に応答することを確認し、システムとして、1000ppmの水素に2秒以内に応答することを確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 827 Kバイト